分辨率是扫描电镜样品台的主要性能指标,它是指在图像上能分辨出的两个亮点之间的小问距c影响扫描电镜分辨率的主要囚素一是扫描电子束斑直径,一般认为扫捕电镜能分辨的小间距不可能小于扫描电子束斑直径,它主要取决于电子光学系统,尤其是电子枪的类型和性能、束流大小、末级聚光镜光阑孔径大小及其污染程度等,高分辨率的扫描电子显微镜都采用场发射电子枪,囚其束斑直径小,束流密度高;另一个囚素是人射电子束在样品中的扩展效应,高能人射电子在样品内经过多次散射后,整体失去F方向性,在固体内部形成漫散射,漫散射作用区的形状取决于原子序数,漫散射作用lx的体积大小取决于入射电子的能量。要得到高的分辨率,人射束在样品内部的扩展要小,探头所收集到的工次电子所来自的面积要小。当以二次电子为调制信号时,二次电子主要来自两个方面,即由人射电子直接激发的二次电子(成像信号)和由背散射电子、X射线光子射出表面过程中间接激发的二次电子(本底噪音)。为减少本底噪音,通常采用较低的入射能量,减少背散射电子和X射线光子的激发所产生的二次电子。理想情况下,二次电子成像的分辨率约等于束斑直径。背散射电子的能量比较大,来自于样品内较大的区域,通常背散射电子成像的分辨率要比二次电子低。