透射电镜是一种高分辨率、高放大倍数的显微镜,是材料科学研究的重要手段,能提供极微细材料的组织结构、晶体结构和化学成分等方面的信息。透射电镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~几十万倍。
透射电镜样品制备要求
透射电镜制样原则:
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?、诓黄苹笛繁砻?,如:避免磨样过程中产生的位错及离子减薄过程中产生的非晶现象等。
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透射电镜样品要求:
①对电子束透明(电子束穿透固体样品的厚度主要取决于:加速电压和样品原子序数)。
?、诠烫濉⒏稍?、无油、无磁性。
透射电镜块体样品的制备方法:
1、离子减薄
特点:不受材料电性能的影响,即不管材料是否导电,金属或非金属或者二者混合物,不管材料结构多复杂均可用此方法制备薄膜。
?、傺凡眉簦航干涞缇笛烦逖钩芍本?mm的圆片。
?、谘心ヅ坠猓航干涞缇笛吩财檬侄心ヅ淌侄心ブ梁穸鹊陀?0微米的圆片。
?、郯伎樱喊伎右堑ッ姘伎又猎财琙X厚度为10-30微米。
?、芾胱蛹醣。荷柚煤美胱忧菇嵌取⒓醣∈奔?、加速电压将样品减薄至出现足够薄区。
2、电解双喷
特点:受材料电性能的影响,只能用于金属样品,并且耗时短成本低。
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?、郯伎樱喊伎右堑ッ姘伎又猎财琙X厚度为10-30微米。
?、艿缃馑纾荷柚煤玫缃庖骸⒌缪?、温度将样品减薄至出现足够薄区。